半导体行业冷却塔技术升级：精准控温与低碳运营双突破
方形冷却塔、圆形冷却塔、开式冷却塔、闭式冷却塔、横流式冷却塔、逆流式冷却塔
近日，意法半导体、联宝科技等头部企业密集落地冷却塔升级项目，凸显半导体行业对冷却系统 “精度 + 能效” 的双重追求。作为芯片制造的 “温度管家”，冷却塔已从传统散热设备升级为保障良率与低碳运营的核心基础设施。
半导体制造对冷却水精度要求严苛，光刻机等设备需水温稳定在 22±0.1℃，偏差超 0.5℃即可能导致晶圆缺陷率上升。闭式冷却塔成为主流选择，其集成 PID 智能控制系统可将温度波动控制在 ±0.05℃，配合去离子水过滤系统，能使晶圆缺陷率从 0.8% 降至 0.3%。管道阀门选型尤为关键，DN150 旁通管采用 D371X-16Q 蝶阀，通过 0-90° 线性调节实现流量精准控制，流阻系数低至 0.08，避免压头损失影响控温精度。
节能改造成为行业共识。联宝科技通过楼宇自控系统（BAS）实现冷却塔风机、水泵变频联动，结合 DN150 管道闸阀低阻设计（流阻系数≤0.05），年节能达 566.5 万度电，折算减碳 3040 吨。意法半导体更落地双温冷却系统，省去中温回路热交换器，年减碳 2140 吨，同时满足新加坡 MEES 能效标准。泵出口配置 H44H-16Q 止回阀，以 0.15MPa 低关闭压力降低能耗，呼应电机效率优化逻辑。
行业专家指出，半导体冷却塔正呈现 “智能化 + 定制化” 趋势：阀门需适配氟橡胶密封（耐药剂腐蚀）与电动执行器（远程调控），系统集成能耗监测模块，未来将深度融入工厂数字孪生体系，为 “双碳” 目标提供关键支撑。
